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XDS干式涡旋泵

型号：XDS35i、XDS35iE、XDS46i

轴承护罩：确保工艺气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空环境并使润滑进程不被工艺气体污染，从而延长轴承使用寿命。

智能电动机驱动：意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。

高流速气镇：允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽。

简便的单侧涡旋设计：可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本并尽可能延长正

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