ACP 120 半导体流程泵在全球范围内有数万台的安装基数,在工业和研发应用以及颗粒或油污污染会带来问题的应用中均体现出多级罗茨泵的优势。
为了满足更高的泵速要求,ACG 600 G 泵组将 ACP 120 G 干式泵和 600 m3/h 的罗茨泵组合起来。