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HiPace® 2800 IT

适用于离子注入系统

优化的抽气速率，适于轻气体

镀镍的转子确保可以耐受所用的搀杂剂

智能温度管理系统可减少过程冷凝和沉积

准 S2 和 UL/CSA 认证
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